コンパクトなアンプを内蔵したストレートチューブタイプの超音波流量計で、流路部には可動部またはメカニカルシールがなく、限られたスペースで、高い耐食性や高いクリーン度が要求される半導体装置等での利用に適した理想的な流量計です。また、最新のデジタル信号処理（DSP）技術を利用しており、高機能で優れた流量計測をご提供いたします。

コンパクト且つ高精度の計測を行うことが出来るコリオリセンサフローメータ。高精度のフローメータ をお探しで、且つ設置スペースを節約したい方にお勧めです。

コの字構造のセンサー部と電子回路部は筐体ケースで隔離され、接液部はオールPFAで液溜りのない高信頼センサーです。また、最新のデジタル信号処理（DSP）技術を利用し正確な流量計測を提供します。

流量検出部をPFAストレートチューブで構成し、流路部の外周にリング状ピエゾ素子を配置。接液部はオールPFAで液留りのない高信頼センサーです。高速応答性と安定性に優れ、微少流量測定に適しております。また、最新のデジタル信号処理（DSP)技術を利用し正確な流量測定を提供します。

PFA製コリオリ式流量コントローラです。

超音波流量計では出せない発泡性薬液やスラリーの高精度制御の実現。

発泡性薬液やスラリー制御でお困りの方にお勧め。

高速、高精度のモーターがピンチバルブ（スラリー用）やダイアフラムバルブ（化学薬品用）を制御しオーバーシュートを最小限に抑え、高速かつ正確な制御が可能。

純水、腐食性の高い化学薬品、CMP研磨スラリー等の薬液制御機器をお探しの方にお勧め。

オールPFAで形成されており、純水、腐食性流体等あらゆる流体に適応可能なリリーフバルブです。

設定された流量以上で動作するフロースイッチです。

接液面はPFAで形成されています。

純水・腐食性流体の流量圧力をLEDディスプレイでモニタリングできる変換器となっております。

流量出力設定を任意に設定可能なフロースイッチです。

材質はPFA, SUS, Cuなどから選択可能です。