Malema
Malema社は1981年に米国フロリダ州で一般工業用の流量警報スイッチを製造開発する会社として設立され、後に初のPFAコリオリ式流量計を開発し、その高い精度技術を備えたMalema社コリオリ式シングルユース流量計はCOVID-19のワクチン製造にも使用されるほど、半導体業界のみならず世界が認めた流量測定機器メーカーです。
超音波・コリオリ式の流量計だけでなく羽根車式流量計やフロースイッチなど多くのラインナップをご用意しており、流量計とバルブを一体化させ独自のPID設計により高精度かつ高速応答性を備えた流量コントローラを用いて既存CMP装置の流量計をMalema製品を載せ替える「薬液供給システムアップグレードレトロフィットサービス」もご提供しております。
-
M-2300シリーズ
ストレートチューブ構造で液だまりや気泡残留などのリスクを排除したアンプ一体型超音波流量計
流路を可動部・メカニカルシールもなく、最新のデジタル信号処理(DSP)技術により高機能で高精度の流量計測をご提供いたします。
View more -
CPFM-8800シリーズ
コンパクト設計かつ30%を超える気体含有液でも高精度な測定が可能なコリオリ式流量計
特許取得済みのコリオリ技術により流体の粘度の変化に影響されず被計測流体ごとに調整・設定を行う必要なく高精度な流量測定をご提供いたします。
View more -
M-2700シリーズ
流路の可動部・メカニカルシールをなくし物質汚染を最小限に抑えたアンプ一体化型超音波流量計
アンプとセンサーを一体化する事で装置内の限られたスペースでも載せ替え可能。小型で高機能で優れた流量計測をご提供いたします。
View more -
M-1500MBシリーズ
流路内に可動部のなく安全に微少流量測定が可能なPFAストレートチューブ型超音波流量計
ストレートチューブ流路部の外周にリング状ピエゾ素子を配置し最新のデジタル信号処理(DSP)技術により高速で安定した計測を提供いたします。
View more -
CMFC-5000シリーズ
超音波式では出せない発泡性薬液やスラリーでも高精度制御が可能なコリオリ式流量コントローラー
特許取得済みのコリオリ技術により流体の粘度の変化に影響されず高精度かつ高速に流量測定・制御性能をご提供いたします。
View more -
LFC-7000シリーズ
一定量の気体を含む流体でも高精度な流量制御が可能な超音波式流量コントローラー
高速・高精度のモーターがバルブ(ピンチorダイアフラム)を制御しオーバーシュートを最小限に抑え、安定した制御をご提供いたします。
View more -
M-VF-Fシリーズ
気泡を封じ込めるシーリング構造を備えたオールPFA製高純度圧力リリーフバルブ
超純水や強力な化学薬品アプリケーションの加圧システム等に最適です。
※工場出荷時にリリーフ圧力を設定
View more -
M-62-Fシリーズ
半導体・高純度アプリケーション向け固定セットポイント式フロースイッチ
PFAボディとPTFEピストン構造により腐食性システムにも最適です。
※工場出荷時にセットポイントを設定
View more -
KL-95シリーズ
LEDディスプレイ表示で流量圧力を簡単にモニタリング可能な圧力変換器
接液部はPFA/PTFE製+Oリングフリー設計により汚染物質発生を抑え、純水・腐食性流体でもご使用可能です。
View more -
M-100シリーズ
幅広い流量設定範囲を持つ可変ピストンフローフロースイッチ
用途に合わせて材質を選択可能(PFA, SUS, Cu)で、腐食性/非腐食性の液体/気体のどちらでも検知可能です。
View more