Malema社製フローコントローラーの接液部は全てにPFA/PTFE製で半導体製造装置に使用されるほとんどの薬液に対応可能で、高純度が求められる半導体および他のアプリケーションの流体制御に最適に設計されております。また、独自のセンサー技術・PID設計を用いて今までの流量モニターおよび制御がむずかしかった発泡性薬液・CMP用スラリーなどの制御が可能なコリオリ式流量コントローラーなど、より多くのお客様のニーズに最適な製品をご提供いたします。