Malema社のフローコントローラーは、高純度薬液用の接液部オールフッ素樹脂製で各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で広く使用されております。

また、今までの流量モニターおよび制御がむずかしかった発泡性薬液、CMP用スラリーなどの制御が可能なPFA製コリオリ式流量コントローラーも取り揃えており、より多くのお客様のニーズに最適な製品をご提供いたします。

【特徴】

接液部が全てにPFA/PTFEを使用しているため、半導体製造装置に使用される全ての薬液が使用可能なため、高純度が求められる半導体および他のアプリケーションの流体制御に最適に設計されております。