フローコントローラ
超音波式液体流量コントローラー LFC7000シリーズ
高速、高精度のモーターがピンチバルブ（スラリー用）やダイアフラムバルブ（化学薬品用）を制御しオーバーシュートを最小限に抑え、高速かつ正確な制御が可能。
純水、腐食性の高い化学薬品、CMP研磨スラリー等の薬液制御機器をお探しの方にお勧め。
仕様
| 接液部材質 | PFA、PTFE |
|---|---|
| 最大測定流量 | 50 ～ 12,000ml/min |
| アナログ出力モジュール | 0-10Vdc or 4-20mA |
| 適用温度 | 10 ～ 60℃ |
| プロセスとの接続 | 1/4 or 3/8inch |
| 特長 | 半導体製造機器に使用されるすべての薬液に対応 被計測流体の特性による調整、設定が不要 デジタル信号処理技術により、一定量の気体を含んだ流体に対しても作動し、且つ高精度な測定が可能。 |
| メーカーページ | https://www.psgdover.com/malema/products/flow-controllers/ultrasonic-flow-controllers/lfc-7000-ultrasonic-flow-controller?_gl=1*1sxgb9*_up*MQ..*_ga*NjY5OTE2OTgzLjE3NDg1ODM0Njc.*_ga_4GMZ587PRZ*czE3NDg1ODM0MDUkbzEkZzEkdDE3NDg1ODM0NjckajYwJGwwJGgw*_ga_FK8YTG0P4H*czE3NDg1ODM0NjckbzEkZzAkdDE3NDg1ODM0NjckajYwJGwwJGgw |
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