ヒータ・クーラ
インラインケミカルヒーター
PROCESS TECHNOLOGY社は、独自の革新的な技術を用いて作られた液体加熱用ヒーターメーカーです。
高品質で多種多様な製品を取り扱っており、これまでに世界中にて数多くの販売実績がございます。
特許技術のヒーターパージ構造により、薬液雰囲気浸透を防ぎ高寿命化を実現。
接液部材料はすべてフッ素樹脂製となっており、半導体製造におけるほとんどの薬液が使用可能。
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SHX/SHX-EXシリーズ
引火性の高いIPAや有機溶剤などの防爆対策が必要な薬液を安全かつ非接触で加熱出来る様に設計されたインライン型ヒータです。
ヒーターの接液部材質は、PTFEフッ素重合体で、流路にO-リングを使用しておりません。シングル・パスかマルチ・パス(再循環)フロー・アプリケーションでご使用頂けるように設計されています。SHX(EX)シリーズは防爆認証品です。
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TIHシリーズ
接液面をフッ素樹脂にすることで、強酸、強アルカリ及びオゾン水など多用途で使用可能なインラインヒーターです。
厚い壁で覆われた内部が、高温環境下においても長寿命を実現します。
最も厳しい再循環から単一流量アプリケーションまで対応出来るように頑丈に設計されています。
最高設定温度:210℃
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ChemHeatシリーズ
PTFE製チューブに薬液を流し外部から加熱する構造なので、万が一PTFEチューブが破損した場合にコンタミ混入がありません。
コンパクトに設計がされ、省スペースを実現します。
インレット及びアウトレット部分のカスタマイズオプションも対応可能です。
素早い加熱と、精度の高い安定した温度制御が可能です。
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NEXUSシリーズ
1台で最大4ラインの薬液加熱が可能なヒータです。
個々のライン流量の変動があっても安定した吐出温度制御が可能です。
様々な産業とアプリケーションに対応することが可能です。
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Frontierシリーズ
多様な流量に対応可能で、消費電力量も幅広く設定されています。
内部には高品質な電解研磨(SUS316)を使用しており、薬液を高い洗浄度での加熱が可能です。
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SHB/SHCシリーズ
接液面をSUS316もしくは、フッ素樹脂にすることで、有機溶剤やIPAなどの薬液にも対応出来るインラインヒーターです。
防爆にも対応しています。
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HCQシリーズ
高純度100%の石英で構成されていることから、イオン性不純物及びバクテリア等の汚染物質の発生をなくします。
特許を取得した冷却システムが、従来の製品と比較して長寿命を実現します。
ランプソケットなど必要な箇所にのみ、直接的に冷却風があたることでパージガス量を最小限に抑えると同時に、ヒーターの効率性を最大限に高めます。
接線流型が、ヒーター内部の薬液の流れにくい部分を除去します。
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浸漬ヒーター
フェーズタイプをはじめ、各アプリケーションに対応しうる多様な製品をご用意しております。
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TFシリーズ
タンクの底または側面に取付ます。
電熱部を網目状にする事で熱を分散します。
特許取得済みであるパージシステムを基に設計されているため、製品の長寿命を可能にしています。
コンパクトに設計がされて、接液部は全てフッ素樹脂で作られています。
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HXシリーズ
スパイラル型横付け式(単相)ヒーター。
1cm²あたり1.5wの低ワット密度で設計されています。
強力な酸性物質に対しても、耐性を持っています。
耐蒸気性を持ち、難燃性のポリプロピレンで出来た端子箱を搭載しています。
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HXLシリーズ
スパイラル型横付け式(単相)ヒーター。
1cm²あたり1.5wの低ワット密度で設計されています。
強力な酸性物質に対しても、耐性を持っています。
耐蒸気性を持ち、難燃性のポリプロピレンで出来た端子箱を搭載しています。
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HXFシリーズ
薄型横付け式(単相)ヒーター。
1cm²あたり1.5wの低ワット密度で設計されています。
強力な酸性物質に対しても、耐性を持っています。
耐蒸気性を持ち、難燃性のポリプロピレンで出来た端子箱を搭載しています。
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HXFLシリーズ
薄型横付け式(単相)ヒーター。
1cm²あたり1.5wの低ワット密度で設計されています。
強力な酸性物質に対しても、耐性を持っています。
耐蒸気性を持ち、難燃性のポリプロピレンで出来た端子箱を搭載しています。
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HXRLシリーズ
ライザー式(単相)ヒーター。
1cm²あたり1.5wの低ワット密度で設計されています。
強力な酸性物質に対しても、耐性を持っています。
1.2メートルのフッ素樹脂(PTFE)ケーブルを使用しています。
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HXSLシリーズ
ライザー式(単相)ヒーター。
1cm²あたり1.5wの低ワット密度で設計されています。
強力な酸性物質に対しても、耐性を持っています。
1.2メートルのフッ素樹脂(PTFE)ケーブルを使用しています。
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HXOシリーズ
オープン流路(単相)タイプのヒーター。
1cm²あたり1.5wの低ワット密度で設計されています。
強力な酸性物質に対しても、耐性を持っています。
耐蒸気性を持ち、難燃性のポリプロピレンで出来た端子箱を搭載しています。
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HXOLシリーズ
オープン流路(単相)タイプのヒーター。
1cm²あたり1.5wの低ワット密度で設計されています。
強力な酸性物質に対しても、耐性を持っています。
1.2メートルのフッ素樹脂(PTFE)ケーブルを使用しています。
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純水加熱装置
世界でこれまでに1000台以上の導入実績を持つ、温水ユニットです。
高精度温度制御システムおよび電力分電盤、ヒータカラムを内蔵しています。
ご用途に応じて、温水ユニットをご紹介いたします。
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Lufran
特許を取得したDAC制御で、正確な温度調整が可能です。
平均故障間隔10年の長寿命を実現します。
最高設定温度95℃まで対応可能です。
要求プロセス仕様にあわせて、24kWから312kW仕様のシステムを提供させて頂きます。
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Tytan
安全で信頼性の高い水加熱装置です。
ヒーターエレメント及び接液部が100%チタン製であるため、錆びにくく多くの厳しい環境下においても対応可能です。
幅広い流量に対する、正確な温度制御が一貫した処理技術を実現します。
容易で多くの時間を要することなく、設置することが可能です。
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熱交換器(クーラー)
樹脂製クーラの接液面はフッ素樹脂で、リーク発生がないように設計されています。
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フッ素樹脂タイプ(XC シリーズ)①
インライン・テフロン製熱交換器は、半導体、PFD、MEMS等で必要とされる加熱、または冷却用に設計された熱交換器です。
循環ラインに大口径チューブを使用することで、高い熱交換効率と、圧力低下を最小限に抑えます。
接液表面積が最大になるように設計されています。
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フッ素樹脂タイプ(XC シリーズ)②
連動する機器のサイズ変更を大幅に行うことなく、取り付けをすることが可能です。
高品質のフッ素樹脂から作られる薬液流路が、上質の洗浄度を生み出します。
高流量にも対応可能で、圧力効果をより最小限に抑えます。
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メタルタイプ
特許取得済みである製造プロセスが、継続的に高品質な生産量をもたらします。
熱損失が少なく、また多くの場合、絶縁体を必要としません。
容易に取り付けをすることが可能です。
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