〒110-0004 東京都台東区下谷1丁目13番6号 ポラリスビル 6F
210℃の高温まで使用可能な、薬液供給プロセス管内のバブル分離器
ウェーハプロセスの弊害となるバブルを高効率で除去することができます。独自のTongue-and-Grooveシールを採用し、高耐圧を実現しています。
