透明基板異物検査装置
※注：現在「パーティクル測定サービス」は実施しておらず、再開時期も未定となっております。
大変恐縮ではございますが、ご理解のほどよろしくお願いいたします。
透明基板異物検査装置
製品情報
SiC, ガラス、サファイアなどの透明基板に特化した異物検査装置
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ＹＰＩ－ＭＸシリーズ（マニュアル）型式 ：YPI-MX-XY／YPI-MX-Θ
ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置
透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応。
センサ自動焦点機構で高精度な表裏分離を可能にしています。
最小検出感度 ：石英ガラス基板時、0.2μm
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ＹＰＩ－ＭＸシリーズ（自動搬送）型式 ：YPI-MX-XYA／YPI-MX-ΘA
ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置
透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応。
センサ自動焦点機構で高精度な表裏分離を可能にしています。
・検査対象基板 ：石英ガラス基板、サファイア基板、SiC基板
エビ膜付きSiC基板等
・最小検出感度 ：石英ガラス基板時、0.2μm
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ＤＦ／ＷＦ-１００小型・高機能光学式外観検査装置
顕微鏡目視検査の自動化に最適。
ウェハ・基板の欠陥や異物を高速で検査。
一度に二つの面を検査できるので、透明基板の場合、表面と裏面、表面と内部を同時に検査でき、検査結果の切り分けも可能です。
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