型式 ：YPI-MX-XY／YPI-MX-Θ

ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置

透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応。

センサ自動焦点機構で高精度な表裏分離を可能にしています。

最小検出感度 ：石英ガラス基板時、0.2μm

型式 ：YPI-MX-XYA／YPI-MX-ΘA

ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置

透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応。

センサ自動焦点機構で高精度な表裏分離を可能にしています。

・検査対象基板 ：石英ガラス基板、サファイア基板、SiC基板

エビ膜付きSiC基板等

・最小検出感度 ：石英ガラス基板時、0.2μm

小型・高機能光学式外観検査装置

顕微鏡目視検査の自動化に最適。

ウェハ・基板の欠陥や異物を高速で検査。

一度に二つの面を検査できるので、透明基板の場合、表面と裏面、表面と内部を同時に検査でき、検査結果の切り分けも可能です。