フッ素樹脂製ポンプ
White Knight社製ベローズポンプ
White Knight 社製フッ素樹脂製薬液供給ポンプは、US市場において50%以上のシェアを占め、各種半導体製造装置の標準部品として広く使用されております。主力製品のベローズポンプは「小型、100%ノンメタル、高温時の高吐出量、メンテナンスフリー」などの特長を生かし、お客様のさまざまなアプリケーションにご使用いただけます。使用温度、薬液、流量に応じて最適なポンプをご提供いたします。
【特長】
White Knight社製ベローズポンプの接液部は全てフッ素樹脂製となっており最大210℃まで対応可能です。メタルフリーかつ同サイズポンプに比べ小型設計のため、簡単に置き換える事ができます。White Knight社独自のTongue-and-Grooveシール製法によりO-リング未使用でもリークのない安全設計。ライセンス取得者によるオーバーホールサービスも提供しており、長期的なコストダウンを実現いたします。
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PXUシリーズ名称：PXU030、PXU060、PXU140
近接センサ
高温（210℃）対応
流量：30～140 L／min
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PXHシリーズ名称：PXH030、PXH060、PXH140
近接センサ
最高使用薬液温度：145℃
流量：30～140 L／min
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PXAシリーズ名称：PXA030、PXA060、PXA140
近接センサ
最高使用薬液温度：100℃
流量：30～140 L／min
旧モデル：PXシリーズ
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PSUシリーズ名称：PSU030、PSU060、PSU140
シャトルバルブ(Air 切り替え)
高温（210℃）対応
流量：30～140 L／min
旧モデル：ATシリーズ
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PSHシリーズ名称：PSH015、PSH030、PSH060、PSH140
シャトルバルブ(Air 切り替え)
最高使用薬液温度：145℃
流量：30～140 L／min
旧モデル：APFMシリーズ
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PSAシリーズ名称：PSA015、PSA030、PSA060、PSA140
シャトルバルブ(Air 切り替え)
最高使用薬液温度：100℃
流量：30～140 L／min
旧モデル：AP、X、PLシリーズ
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PFUシリーズ名称：PFU030、PFU060、PFU140
ファイバセンサ
高温（210℃対応）
流量：30～140 L／min
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PFHシリーズ名称：PFH030、PFH060、PFH140
ファイバセンサ
最高使用薬液温度：145℃
流量：30～140 L／min
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PFAシリーズ名称：PFA030、PFA060、PFA140
ファイバセンサ
最高使用薬液温度：100℃
流量：30～140 L／min
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PSRシリーズ名称：PSR025、PSR050
シャトルバルブ(Air 切り替え)
最高使用薬液温度：100℃
流量：25、50 L／min
旧モデル：Xシリーズ
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PPMCシリーズ内部ソレノイドバルブを装備したオンボードコントローラ小設置面積。 内部ソレノイドバルブを特長とした超小型手のひらサイズポンプ。 接液部はテフロン製となっており高純度薬品処理用途でも使用可能。 全方向取り付け可能で流体温度最大100℃まで対応可能。
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White Knight社製ダイアフラムポンプ
White Knight社製定量ポンプ
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PPM100ポジティブ・コントロール・バルブで供給精度を安定させ、最高±0.1%の再現性を実現。
マニュアル制御可能なストロークリミッタ搭載しており、流量調整も簡単に行えます。
全方向取り付けが可能でリーク検知オプションもご用意しております。
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PEM050独自ダイアフラム構造を採用し、マルチポートメタリングポンプで腐食性薬液を含む薬液を1～50mlで正確に吐出します。
2ポートから6ポートで構成選択が可能で、Inlet/Outletポートを自由にお選び頂けます。
ソフト設定にてサックバック設定も可能で最高±0.01%の再現性を持つ高精度ポンプとなっております。
独自PTFE製ダイアフラム構造を採用し、 腐食性薬液を含む薬液を1～50mlで正確に吐出します。
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