最高±0.1％の再現性を実現した定量吐出の空圧ディスペンスポンプ

ストロークリミッターにて吐出量調整を簡単に行うことが可能です。全方向取り付けが可能でリーク検知オプションもご用意しております。

ローリングダイアフラムを採用したディスペンスポンプ

腐食性薬液を含む高純度薬液を高精度に1～50mlの定量吐出を実現しており、高精度モーターを使用し、±0.01％の吐出量再現性を提供いたします。

210℃の高温まで使用可能な近接センサー式高純度ベローズポンプ

最大流量30、60、140L/minの3種をラインアップしています。構成部品はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

145℃の高温まで使用可能な近接センサー式高純度ベローズポンプ

最大流量30、60、140L/minの3種をラインアップしています。構成部品はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

100℃まで使用可能な近接センサー式高純度ベローズポンプ

最大流量30、60、140L/minの3種をラインアップしています。構成部品はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

210℃の高温まで使用可能なファイバーセンサー式高純度ベローズポンプ

最大流量30、60、140L/minの3種をラインアップしています。構成部品はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

145℃の高温まで使用可能なファイバーセンサー式高純度ベローズポンプ

最大流量30、60、140L/minの3種をラインアップしています。構成部品はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

100℃まで使用可能なファイバーセンサー式高純度ベローズポンプ

最大流量15、30、60、140L/minの4種をラインアップしています。接液部はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

210℃の高温まで使用可能なシャトルバルブ式高純度ベローズポンプ

最大流量30、60、140L/minの3種をラインアップしています。構成部品はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

145℃の高温まで使用可能なファイバーセンサー式高純度ベローズポンプ

最大流量15、30、60、140L/minの4種をラインアップしています。構成部品はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

100℃まで使用可能なシャトルバルブ式高純度ベローズポンプ

最大流量15、30、60、140L/minの4種をラインアップしています。接液部はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

100℃まで使用可能なシャトルバルブ式高純度ベローズポンプ

最大流量25、50L/minの2種をラインアップしています。接液部はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

PTFE及びPFA流路の低流量向けシングルベローズのミニポンプ

ポンプ本体にベローズ駆動用ソレノイドバルブ、コントローラーを内蔵しており容易に使用することが可能です。どの方向にも取り付け可能でコンパクトなポンプです。

耐薬品性に優れたPTFE流路を備えた空圧ダブルダイヤフラムポンプ

空気消費量と稼働騒音を最小限に抑え、高い密封性とよりクリーンな供給を実現したポンプです。最大流量は4種からお選びいただけます。