プロセス性能を阻害するマイクロバブルを液体の組成を変えることなく効率よく安全に除去いたします。

【事例】

• 塗布工程：フォトレジスト、シンナー、溶剤などの移送中に発生するマイクロバブル

• 現像工程：ウエハのパターン・コンタクトホール上に付着するマイクロバブル

• 洗浄工程：ウエハ表面の洗浄効果阻止及び酸化膜形成の妨害する超純水薬液内のマイクロバブル