透明基板異物検査装置
ＹＰＩ－ＭＸシリーズ（自動搬送）
型式 ：YPI-MX-XYA／YPI-MX-ΘA
ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置
透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応。
センサ自動焦点機構で高精度な表裏分離を可能にしています。
・検査対象基板 ：石英ガラス基板、サファイア基板、SiC基板
エビ膜付きSiC基板等
・最小検出感度 ：石英ガラス基板時、0.2μm
仕様
| 対応基板サイズ | 最大200mm×200mm (200mm以上の場合はご相談ください) |
|---|---|
| スキャン方式 | Ｘ－Ｙスキャン／Θ－Ｘスキャン(螺旋スキャン) |
| スループット | 200mmを約4分／Φ200mmを約3分 (高速スキャン対応可能) |
| ワーク設置 | 搬送ロボット(裏面吸着／エッジクランプ) |
| 装置外形寸法 | W1,800mm×D1,230mm×H2,151mm |
| 本体重量 | 約1,000kg |
| 消費電力 | 約1.5kW(100V) |
製品の在庫や仕様など、まずはお気軽にお問い合わせください。
