透明基板異物検査装置
ＹＰＩ－ＭＸシリーズ（マニュアル）
型式 ：YPI-MX-XY／YPI-MX-Θ
ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置
透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応。
センサ自動焦点機構で高精度な表裏分離を可能にしています。
最小検出感度 ：石英ガラス基板時、0.2μm
仕様
| 対応基板サイズ | 最大200mm×200mm (200mm以上の場合はご相談ください) |
|---|---|
| スキャン方式 | Ｘ－Ｙスキャン／Θ－Ｘスキャン(螺旋スキャン) |
| スループット | 200mmを約4分／Φ200mmを約3分 (高速スキャン対応可能) |
| ワーク設置 | マニュアル |
| 装置外形寸法／本体重量 | W900mm×D1,000mm×H1,757mm 約500kg |
| 消費電力 | 約1.5kW(100V) |
| 検査対象基板 | 石英ガラス基板、サファイア基板、SiC基板 エビ膜付きSiC基板等 |
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