透明基板異物検査装置
ＤＦ／ＷＦ-１００
小型・高機能光学式外観検査装置
顕微鏡目視検査の自動化に最適。
ウェハ・基板の欠陥や異物を高速で検査。
一度に二つの面を検査できるので、透明基板の場合、表面と裏面、表面と内部を同時に検査でき、検査結果の切り分けも可能です。
仕様
| 対応基板サイズ | 最大200mm×200mm |
|---|---|
| スループット | 約1分30秒 □100mm(3μm検出) |
| ワーク設置 | マニュアル バキューム吸着 |
| 装置外形寸法 | W800mm×D800mm×H1,710mm |
| 最高分解能 | 0.87μm |
| 検査対象基板 | ウェハ、ガラス・各種基板。 ノンパターン若しくは同一パターン(グリッド、ピンホール) |
| レビュー機能 | 有 |
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