フッ素樹脂製接液部品により高耐腐食性かつ物質汚染を最小限に抑えたフロート式アナログ流量計

露出金属部品不使用で特許取得済みバルブ構造により極低流量でも安定した再現性が高く流量の測定が可能です。

フッ素樹脂製接液部品により高耐腐食性かつ物質汚染を最小限に抑えたフロート式アナログ流量計

極低流量～中流量向け”Pathfinderシリーズ”よりも大流量アプリケーションでも安定した流量測定が可能です。

非侵入型センシングによるパルス信号出力により幅広い流量レンジで測定可能な羽根車式流量計

露出金属部品不使用かつ接液部はフッ素樹脂製にすることで耐腐食性かつプロセス汚染を排除いたします。

AutoValueとカルマン渦流量計、超音波式流量計をシステム統合させた小型ループコントローラー

圧力と設定値の変化に迅速かつ正確に応答し、±2%以内での高再現性・高信頼性で流体制御を行ないます。

一台で幅広い流量レンジ (最大ターンダウン比1:100)の精密コントロールが可能な流量制御バルブ

高精度ステッピングモータとデュアルダイアフラム構造の組合わせで脈動・圧力変動にも高速追従し制御します。