Futurestar
Futurestar社は1984年に米国ミネソタ州で設立され、主に洗浄装置・薬液供給装置などの酸や有機系供給で使用される流量計や精密流量制御バルブを製造しています。
設立から30年以上にわたり米国、ヨーロッパ、アジアなどの半導体製造装置メーカーや洗浄装置メーカーに高性能・高品質な製品を提供しており、大手半導体製造装置での標準採用実績もある信頼と実績をもつメーカーです。
小流量から大流量まで流量にあわせてサイズも豊富に取り揃えており、高温プロセスなど特殊な仕様を含めお客様のニーズに最適な製品をご提案・提供いたします。
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Pathfinderシリーズ
アナログフローメータ
流量レンジにより、フロートタイプは3種類をご用意しております。
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Odysseyシリーズ
アナログフローメーター
PathFinderシリーズよりもワイドレンジ、大流量のアプリケーションにご利用頂けます。
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Monitorパドルホイール式フローメータ
フッ素樹脂製ホイールを採用したPTFE, PFA製フローメータです。
小~大流量まで測定可能な幅広い流量レンジを持ったパドルホイール式フローメータ 非侵入型センシングによるパルス信号出力により安全に正確な流量を測定可能です。
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i-Flow
AutoValueとカルマン渦流量計、超音波式流量計を統合した小型ループコントローラーです。
システム統合により±2%以内での高再現性・高信頼性を提供します。
超純水、酸、溶剤等の定量的な混同・吐出・噴霧の制御が可能です。
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Auto Valve
一台で幅広い流量レンジを精密制御可能(最大ターンダウン比1:100)
接液部は対腐食性高純度フッ素樹脂で高温プロセスにも対応可能。
バルブ駆動用高精度ステッピングモータと特許を取得したデュアル・ダイアフラム構造との組み合わせにより脈動、圧力変動に高速で追従し液体供給を±1%以内にコントロールします。
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