一台で幅広い流量レンジを精密制御可能(最大ターンダウン比1:100)

接液部は対腐食性高純度フッ素樹脂で高温プロセスにも対応可能。

バルブ駆動用高精度ステッピングモータと特許を取得したデュアル・ダイアフラム構造との組み合わせにより脈動、圧力変動に高速で追従し液体供給を±1%以内にコントロールします。