210℃の高温まで使用可能な、薬液供給プロセス管内のバブル分離器

ウェーハプロセスの弊害となるバブルを高効率で除去することができます。独自のTongue-and-Grooveシールを採用し、高耐圧を実現しています。

最高±0.1％の再現性を実現した定量吐出の空圧ディスペンスポンプ

ストロークリミッターにて吐出量調整を簡単に行うことが可能です。全方向取り付けが可能でリーク検知オプションもご用意しております。

ローリングダイアフラムを採用したディスペンスポンプ

腐食性薬液を含む高純度薬液を高精度に1～50mlの定量吐出を実現しており、高精度モーターを使用し、±0.01％の吐出量再現性を提供いたします。

210℃の高温まで使用可能な近接センサー式高純度ベローズポンプ

最大流量30、60、140L/minの3種をラインアップしています。構成部品はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

145℃の高温まで使用可能な近接センサー式高純度ベローズポンプ

最大流量30、60、140L/minの3種をラインアップしています。構成部品はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

100℃まで使用可能な近接センサー式高純度ベローズポンプ

最大流量30、60、140L/minの3種をラインアップしています。構成部品はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

210℃の高温まで使用可能なファイバーセンサー式高純度ベローズポンプ

最大流量30、60、140L/minの3種をラインアップしています。構成部品はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

145℃の高温まで使用可能なファイバーセンサー式高純度ベローズポンプ

最大流量30、60、140L/minの3種をラインアップしています。構成部品はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

100℃まで使用可能なファイバーセンサー式高純度ベローズポンプ

最大流量15、30、60、140L/minの4種をラインアップしています。接液部はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

210℃の高温まで使用可能なシャトルバルブ式高純度ベローズポンプ

最大流量30、60、140L/minの3種をラインアップしています。構成部品はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

145℃の高温まで使用可能なファイバーセンサー式高純度ベローズポンプ

最大流量15、30、60、140L/minの4種をラインアップしています。構成部品はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

100℃まで使用可能なシャトルバルブ式高純度ベローズポンプ

最大流量15、30、60、140L/minの4種をラインアップしています。接液部はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

100℃まで使用可能なシャトルバルブ式高純度ベローズポンプ

最大流量25、50L/minの2種をラインアップしています。接液部はメタルフリーで、PTFE及びPFAを使用した高純度な流体の移送や再循環に最適です。

PTFE及びPFA流路の低流量向けシングルベローズのミニポンプ

ポンプ本体にベローズ駆動用ソレノイドバルブ、コントローラーを内蔵しており容易に使用することが可能です。どの方向にも取り付け可能でコンパクトなポンプです。

耐薬品性に優れたPTFE流路を備えた空圧ダブルダイヤフラムポンプ

空気消費量と稼働騒音を最小限に抑え、高い密封性とよりクリーンな供給を実現したポンプです。最大流量は4種からお選びいただけます。

2本または4本のフィルターを集約したフィルターハウジング

標準品に比べ1/3の面積で設置可能で、メンテナンス時にはフィルターのみを交換しますので、フィルターハウジングは再利用できます。