内径4インチの⼤きな分離層を持つことで⾼純度薬液供給とウエハープロセスの弊害となるバブルを除去します。

名称：PXU030、PXU060、PXU140

近接センサ

高温（210℃）対応

流量：30～140 L／min

名称：PXH030、PXH060、PXH140

近接センサ

最高使用薬液温度：145℃

流量：30～140 L／min

名称：PXA030、PXA060、PXA140

近接センサ

最高使用薬液温度：100℃

流量：30～140 L／min

旧モデル：PXシリーズ

名称：PSU030、PSU060、PSU140

シャトルバルブ(Air 切り替え)

高温（210℃）対応

流量：30～140 L／min

旧モデル：ATシリーズ

名称：PSH015、PSH030、PSH060、PSH140

シャトルバルブ(Air 切り替え)

最高使用薬液温度：145℃

流量：30～140 L／min

旧モデル：APFMシリーズ

名称：PSA015、PSA030、PSA060、PSA140

シャトルバルブ(Air 切り替え)

最高使用薬液温度：100℃

流量：30～140 L／min

旧モデル：AP、X、PLシリーズ

名称：PFU030、PFU060、PFU140

ファイバセンサ

高温（210℃対応）

流量：30～140 L／min

名称：PFH030、PFH060、PFH140

ファイバセンサ

最高使用薬液温度：145℃

流量：30～140 L／min

名称：PFA030、PFA060、PFA140

ファイバセンサ

最高使用薬液温度：100℃

流量：30～140 L／min

名称：PSR025、PSR050

シャトルバルブ(Air 切り替え)

最高使用薬液温度：100℃

流量：25、50 L／min

旧モデル：Xシリーズ

内部ソレノイドバルブを装備したオンボードコントローラ小設置面積。 内部ソレノイドバルブを特長とした超小型手のひらサイズポンプ。 接液部はテフロン製となっており高純度薬品処理用途でも使用可能。 全方向取り付け可能で流体温度最大100℃まで対応可能。

接液部は粘性の高い流体やスラリーに理想的なテフロン製となっております。

独自の加工設計より空気消費量と稼働騒音を最小限に抑え 高い密封性とよりクリーンな供給を実現しました。

5種類(14～372LPM)のポンプバリエーションから最適なポンプをお選び頂けます。

ポジティブ・コントロール・バルブで供給精度を安定させ、最高±0.1%の再現性を実現。

マニュアル制御可能なストロークリミッタ搭載しており、流量調整も簡単に行えます。

全方向取り付けが可能でリーク検知オプションもご用意しております。

独自ダイアフラム構造を採用し、マルチポートメタリングポンプで腐食性薬液を含む薬液を1～50mlで正確に吐出します。

2ポートから6ポートで構成選択が可能で、Inlet/Outletポートを自由にお選び頂けます。

ソフト設定にてサックバック設定も可能で最高±0.01%の再現性を持つ高精度ポンプとなっております。

独自PTFE製ダイアフラム構造を採用し、 腐食性薬液を含む薬液を1～50mlで正確に吐出します。

接液部には金属を使用しないメタルフリー高純度薬液対応フィルタハウジング。

最高使用温度は100℃で、2もしくは4本のフィルタを省スペースで設置可能です。

設置面積は標準的なフィルターハウジングを使用した場合に比べ1/3の面積で設置可能です。

フィルタカートリッジを交換するだけで、フィルターハウジングは再利用可能です。

高温（210℃）対応のフィルタハウジングもあります。