気液分離器
CBA/CBUシリーズ
210℃の高温まで使用可能な、薬液供給プロセス管内のバブル分離器
ウェーハプロセスの弊害となるバブルを高効率で除去することができます。独自のTongue-and-Grooveシールを採用し、高耐圧を実現しています。
仕様
| 最高温度 | 100℃または210℃ |
|---|---|
| 最高圧力 | 0.7MPa |
| 最大容量 | 1～6L |
| 接液面材質 | フッ素樹脂 |
| 保証 | 2年間 |
| メーカーページ | https://wkfluidhandling.com/ja/products/debubblers/cba-series/ |
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