パーティクル検査装置
ＹＰＩ－Ｎシリーズ（マニュアル）
型式 ：ＹＰＩ-Ｎ-ＸＹ／ＹＰＩ-Ｎ-Θ
透ウェハ表面検査装置
鏡面基板（シリコンウェハ等）の表面異物を高速にスキャン。
小型基板（2インチ、3インチ）から8インチウェハまで幅広く測定可能です。
仕様
| 対応基板サイズ | 最大200mm×200mm (200mm以上の場合はご相談ください) |
|---|---|
| スキャン方式 | Ｘ－Ｙスキャン／Θ－Ｘスキャン(螺旋スキャン) |
| スループット | □200mmを約4分／Φ200mmを約3分 (高速スキャン対応可能) |
| ワーク設置 | マニュアル |
| 装置外形寸法 | W900mm×D1,000mm×H1,757mm |
| 本体重量 | 約500kg |
| 消費電力 | 約1.5kW(100V) |
| 検査対象基板 | Siウェハ、各種膜付きウェハ |
| 最小検出感度 | Siウェハ時、0.1μm |
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