従来の表面パーティクル検査装置で検出できないSiC表面の潜傷を未検出する事なく測定。

SiC／GaN関連ウェハ表面検査装置

SiC表面パーティクルスキャナ デュアルヘッド搭載

SiC潜傷の未検出を防ぐ　新開発SiC表面パーティクルスキャナ。

従来の表面パーティクル検査装置で検出できないSiC表面の潜傷を未検出する事なく測定。

透明基板検査可能なYPI-MXに搭載する事で、微小傷欠陥を未検出する事なく測定可能なデュアルセンサ。

355nm(UV)レーザーと受光センサを直交2軸に配置することで、微小傷欠陥の方向性依存をなくし、Sic基板の傷欠陥・潜傷を見落とす事なく検出する事が可能。