間接加熱構造＋低ワット密度設計によりIPAなどの溶剤を安全に加熱可能なインライン溶剤ヒーター

接液面はフッ素樹脂製かつOリングレス構造となっており、長寿命かつIPAをはじめとした半導体製造に使用される様々な溶剤でも安全な運転性能を提供いたします。

特許技術のエレメントパージ機構により安全な運転と長寿命を提供するインライン薬液ヒーター

接液面にフッ素樹脂を用いて汚染リスクを排除し、広いプロセス範囲と高い熱交換効率で様々な薬品加熱が可能かつシングルパスからマルチパスまで柔軟に対応します。

エレメントと薬液が接触しない非接触構造により安全で長寿命を実現したインライン式薬液ヒーター

接液面はフッ素樹脂製かつOリングレス構造となっており、デッドスペースを最小限にする事で高効率な加熱性能で薬液の無駄を減らします。

IPAをはじめとする溶剤を最大4ラインで同時過熱が可能なインライン溶剤ヒーター

流量変動があっても安定した吐出温度制御を提供し、間接加熱、低ワット密度設計を採用することで、溶剤を安全に加熱することが可能です。

低ワット密度設計＋間接加熱構造によりIPAなどの溶剤を安全に加熱可能なインライン溶剤ヒーター

高品質な電解研磨（SUS316）製で、最大36kWの高出力、低圧損で幅広い流量に対応し、低内容積設計で加熱時間の短縮も提供いたします。

低ワット密度設計と間接加熱構造により薬液・溶剤を安全に加熱可能なインライン溶剤ヒーター

接液面はSUS316もしくはフッ素樹脂製で、小型で小流量にも対応しているため設置場所を問わずPOUヒーターとしてもご使用いただけます。

接液面が合成石英でコンタミ・プロセス汚染を最小限化したインラインヒーター

100％高純度石英を採用しており、配管を取り外さずにランプを交換することが可能で交換作業・復旧までの時間短縮化を実現いたします。

特許技術のDAC制御を用いることで高精度な温度制御を実現したプラグインシステムの純水加熱装置

広いプロセス範囲と高圧力、MTBF>10年の信頼性で、高い稼働率、低いランニングコストを提供いたします。

ヒーターエレメント及び接液部に高純度チタンを使用した高い耐腐食性能を持つ純粋加熱装置

PID制御による正確で安定した温度制御により温度の変動を最小限にとどめ、一貫した処理技術を実現します。

高い熱交換効率を実現するため、接液表面積が最大になるように設計された熱交換器

薬液ラインのPFAチューブを大口径にする事で圧力損失を最小限化を実現。冷却ライン温度・圧力条件に合わせてシェル仕様を2種類(PVDF or PP)から選択可能です。

直径147.5mmのシェル(ポリプロピレン or PVDF製)により大流量にも対応可能な熱交換器

連動する機器のサイズ変更を大幅に行うことなく、取り付けをすることが可能です。高流量にも対応可能で、圧力効果をより最小限に抑えます。

特許取得済みの製造プロセスにより一貫した高品質な生産を提供可能な熱交換器

コンパクトでモジュール式の設計と、ガスケット不要で簡素化することで、高い信頼性と容易な取り付け、低い熱損失を実現いたしました。

フッ素樹脂被膜のオープン流路(単相)浸漬式薬液ヒーター

低ワット密度設計で酸・アルカリ等の薬液を安全に加熱します。使用されるタンク形状・電源仕様要求に合わせて最適なヒーターをご提案いたします。

フッ素樹脂被膜のライザー(単相)浸漬式薬液ヒーター

低ワット密度設計で酸・アルカリ等の薬液を安全に加熱します。使用されるタンク形状・電源仕様要求に合わせて最適なヒーターをご提案いたします。

フッ素樹脂被膜の薄型横付け(単相)浸漬式薬液ヒーター

低ワット密度設計で酸・アルカリ等の薬液を安全に加熱します。使用されるタンク形状・電源仕様要求に合わせて最適なヒーターをご提案いたします。

フッ素樹脂被膜のスパイラル型横付け(単相)浸漬式薬液ヒーター

低ワット密度設計で酸・アルカリ等の薬液を安全に加熱します。使用されるタンク形状・電源仕様要求に合わせて最適なヒーターをご提案いたします。

タンクの底または側面に設置可能な浸漬式薬液ヒーター

接液面はフッ素樹脂のためほぼ全ての薬品の加熱に対応可能で、特許のパージ機構により化学物質の浸透を排除し製品の長寿命を実現します。

最高温度180℃対応のPTFE製のフィルターハウジング

ほぼすべての薬品に耐性があるため長寿命化を実現。さらにフィルターカートリッジのみの交換でハウジングは再利用でき低COOです。