SiC用 研磨装置 Revasum社SiC用 研磨装置 7AF-HMG SiC、ハードマテリアル向けグラインダ装置 枚葉式全自動グラインダ 難削材料に特化した強剛性設計 φ50~200mm対応 詳細はこちら 6EZ SiC向けポリッシュ装置 SiCに特化した枚葉式全自動ポリッシャ 片面、両面の自動処理が可能 φ150~200mm対応 詳細はこちら