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微細化が進むにつれ、成膜プロセス後の工程においてウエハーエッジ・ベベル部の残膜が剥れ、パーティクルが発生し、歩留りを大きく低下させる現象が見受けられます。
SOSUL社が開発したプラズマベベルエッチャーは、最先端デバイス製造ラインで実証された装置で、成膜後のウエハーのベベル全体と両面エッジ部を、マスクなしでプラズマを用いて簡単・容易に除去できる世界初のウエハーベベルエッチャーです。 |
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- パーティクルの低減による歩留りの向上
- ウエハーベベルのフィルム残留物およびポリマー除去
- コンベンショナルな外周露光工程の工程数削減
- 高スループット
- ランニングコストの削減
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