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米国 Entrepix社がフルリファービッシュを実施したCMP装置は、ポストクリーニング装置をご提供します。
MEMS用途ではIPEC472が最適です。AMAT Mirra、エバラ製CMPも対応。On-trackを始めとするポストクリーニング装置、CMP工程用検査装置のフルリファービッシュ装置も取り揃えています。
詳細はお問合せください。 |
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| IPEC472 |
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IPEC AVANTI 472
Oxide、メタル対応
4、5、6、8インチ
カセットtoカセット
2ステージポリッシュ
PADコンディショナー
ポリッシュ・ヘッド・クリーン・ステーション
各種アップグレード対応 |
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