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バリアン、ＳＥＮ、ＡＭＡＴすべてのバッチ式インプラディスクのフル再生、ヒートシンク再生
ディスク修理、Finger、Restraint等の部品販売も承ります。
対応装置
■ Ｖａｒｉａｎ
− XP，E1000，VIISion，Kestrel
■ ＳＥＮ/Ａｘｃｅｌｉｓ
− NV10（フルリングクランプ，２点クランプ，クランプレス）
− GSD（初期Superdiskから300mmまでの全種，Classic，UHD，VSDを含むﾃﾞｨｽｸ）
■ ＡＭＡＴ
− 9200，9500，xr，xrLEAP，Quantum ��/��
＞詳細はお問合せ下さい。 |
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ハイカレント・高エネルギーイオン注入装置バッチ式エンドステーションディスクは、長時間にわたるイオ
ン照射によりウェハへのパーティクル付着、元素レベルの汚染、エラストマーの経時変化による冷却能
力低下やウェハ脱着の不具合といった、管理上見過ごすことの出来ない問題が発生します。
この為、部品洗浄やエラストマー交換を始めとするディスク再生を定期的に実施し、これらの問題を未
然に防ぐ必要があり、弊社では高品質なディスク再生を低価格にてご提供いたします。 |
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| パーティクルの増加 |
＜原因＞
ビーム衝撃による金属剥離あるいはSiコート膜剥離
ディスク高速回転と遠心力によるエラストマー／ウェハ裏面境界面の磨耗
エラストマー磨耗粉
摺動部分の剥れ
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| 元素レベルの汚染 |
＜原因＞
・スパッタリング効果によるAl、C等の脱離
・高加速電圧時のソース基材からの汚染（Mo、W、O、Ni、Al等）
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| エラストマーの劣化 |
＜原因＞
・冷熱の繰返しによるポリマー強度の劣化（特にカラ注入）
・表面の分子配向の変化（スティッキング発生）
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・各メーカーのイオン注入装置に対応します。
・OEM仕様同等以上のウェハインターフェースをご提供いたします。
・新品パーツ購入よりも、格段に低価格でご提供いたします。 |
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＜再生前＞ ＜再生後＞
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